[发明专利]基板检查系统以及使用基板检查系统制造半导体器件的方法在审
| 申请号： | 201811067563.7 | 申请日： | 2018-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN109560011A | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 尹贵玹;徐元国;许瑛 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周泉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种基板检查系统。所述基板检查系统包括：浮动单元，被配置为浮动基板；检查单元，布置在浮动单元上方；握持单元，布置在检查单元下方并且包括被配置为将基板保持在浮动单元上的第一握持构件；握持传送单元，被配置为沿第一方向移动握持单元；以及照明单元，被配置为产生光。检查单元被配置为检查在浮动单元上浮动的基板，照明单元布置在握持单元的移动路径上，以使得由照明单元产生的光照射到检查单元上。第一握持构件包括被配置为吸附基板的第一吸附垫和支撑第一吸附垫的第一支撑构件，第一支撑构件包括第一开口，照明单元插入第一开口中。 | ||
| 搜索关键词： | 基板检查系统 浮动单元 检查单元 照明单元 配置 握持单元 握持构件 支撑构件 吸附垫 开口 半导体器件 传送单元 方向移动 浮动基板 基板保持 吸附基板 移动路径 光照射 基板 握持 浮动 支撑 制造 检查 | ||
【主权项】：
1.一种基板检查系统，包括：浮动单元，被配置为使基板浮动；检查单元，布置在所述浮动单元上方并且被配置为检查在所述浮动单元上浮动的所述基板；握持单元，布置在所述检查单元下方，并且包括第一握持构件，所述第一握持构件被配置为将所述基板保持在所述浮动单元上；握持传送单元，被配置为沿第一方向移动所述握持单元；以及照明单元，被配置为产生光，其中，所述照明单元布置在所述握持单元的移动路径上，以使得由所述照明单元产生的光照射到所述检查单元上，其中，所述第一握持构件包括：第一吸附垫，被配置为吸附所述基板；以及第一支撑构件，被配置为支撑所述第一吸附垫并且包括第一开口，所述照明单元插入所述第一开口中。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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