[发明专利]ZMO靶材的生产方法

摘要

本发明涉及一种ZMO靶材的生产方法，包括如下步骤：S1：球磨筛分；S2：装模预压；S3：热压；S4：脱模。本发明ZMO靶材的生产方法，步骤简单，所制备得到的ZMO靶材密度高、电阻率低，加热温度未超过1000℃，节约能源成本，能取得良好的经济效益，值得推广应用。

主权项

1.一种ZMO靶材的生产方法，其特征在于：包括如下步骤：S1：球磨筛分：称取适量的MgO、ZnO粉体形成混合粉体，分别加入混料机中用二氧化锆球进行混料；其中MgO占混合粉体质量的0~20wt%，ZnO占混合粉体质量的80wt%~100wt%，二氧化锆球和混合粉体的球料质量比为1~3:1，混料机转速为50~150r/min；球磨时间8~24h；混料完成后先用第一筛网将二氧化锆球与混合粉体筛分后，混合粉体再过第二筛网；S2：装模预压：将过筛网后的混合粉体置于一模具中，再将模具放置于一热压炉中，进行预压，预压压力为20~40MPa，预压时间为10~30min；S3：热压：预压结束后，关闭炉门，开启真空系统，当真空度≤5Pa后，开启加热装置，目标温度为700~1000℃，升温速率为5~10℃/min，到达目标温度后，开始加压，压力大小为40~60Mpa，保温加压时间为0.5~2.5h；S4：脱模：保温保压结束后，关闭加热装置，待炉内温度低于100℃后，打开炉门，直到模具冷却至室温，进行脱模，取出ZMO靶材。