[发明专利]一种高精度XY移动平台及其实现方法

摘要

本发明提供了一种高精度XY移动平台及其实现方法，通过设置安装有第一驱动部件和第二驱动部件的X轴驱动机构和安装有第三驱动部件和第四驱动部件的Y轴驱动机构；所述第一驱动部件驱动所述滑块运动与第二驱动部件驱动所述滑块运动同向不同力；所述第三驱动部件驱动所述Y轴驱动机构运动与第四驱动部件驱动所述Y轴驱动机构运动同向不同力。由于第一驱动部件与第二驱动部件或者第三驱动部件和第四驱动部件始终控制驱动与滑块处于接触状态，且沿着一个方向运动，消除了来回运动过程中出现的空回现象，从而实现对滑块的高精度控制。

主权项

1.一种高精度XY移动平台，其特征在于，包括：X轴驱动机构和Y轴驱动机构；所述Y轴驱动机构包括： Y轴导轨和滑块；所述X轴驱动机构包括：Y轴底座和X轴导轨；所述Y轴驱动机构设置在所述X轴驱动机构上方，所述X轴驱动机构驱动所述Y轴驱动机构带动所述滑块运动；所述Y轴驱动机构还包括：设置在所述Y轴导轨上方的第一驱动部件和第二驱动部件；所述第一驱动部件驱动所述滑块运动与第二驱动部件驱动所述滑块运动同向不同力；且所述第一驱动部件在驱动滑块运动到Y轴导轨的终点后，采用第一驱动部件的阻抗并由第二驱动部件驱动消除空回，然后再由第二驱动部件驱动所述滑块运动；所述X轴驱动机构包括：设置在所述X轴导轨上方的第三驱动部件和第四驱动部件；所述第三驱动部件驱动所述Y轴驱动机构运动与第四驱动部件驱动所述Y轴驱动机构运动同向不同力。