[发明专利]蒸发源和蒸镀装置有效
| 申请号： | 201811070879.1 | 申请日： | 2018-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN109972094B | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 风间良秋;佐藤聪 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够提高冷却效率的蒸发源和蒸镀装置。蒸发源(10)具备：收容要蒸镀于基板的物质的材料的坩埚(100)；以围绕坩埚(100)的方式设置且加热坩埚(100)的加热体(200)；以及以围绕加热体(200)的方式设置且遮断热的反射体(300)，其特征在于，该蒸发源(10)具备：以沿着反射体本体(310)的内壁面的方式设于反射体本体(310)的内部且供冷却液流动的冷却液室(311)；以及设于冷却液室(311)内，使冷却液从冷却液室(311)的下方排出的排液管(340)。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源，具备：坩埚，收容要蒸镀于基板的物质的材料；加热体，以围绕所述坩埚的方式设置，加热该坩埚；以及遮热构造体，以围绕所述加热体的方式设置，遮断热，其特征在于，该蒸发源具备：冷却液室，以沿着所述遮热构造体的内壁面的方式设置在该遮热构造体的内部，且供冷却液流动；以及排液管，设于所述冷却液室内，使冷却液从该冷却液室的下方排出。
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