[发明专利]一种褶皱状立体多孔ZnO薄膜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201811072745.3 申请日: 2018-09-14
公开(公告)号: CN109338339B 公开(公告)日: 2020-12-01
发明(设计)人: 杨为家;刘俊杰;刘铭全;何鑫;刘志豪;刘艳怡;王诺媛;蒋庭辉;江嘉怡 申请(专利权)人: 五邑大学
主分类号: C23C18/12 分类号: C23C18/12
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 梁嘉琦
地址: 529000 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种褶皱状立体多孔ZnO薄膜及其制备方法。所述褶皱状立体多孔ZnO薄膜经过醋酸锌、聚乙二醇、乙醇按0.05‑0.6g:0.05‑0.6g:10‑150mL的比例混合制备混合溶液,醋酸锌和聚乙二醇混合薄膜的制备以及混合薄膜的高温烧结处理三步制备完成。本发明所述褶皱状立体多孔ZnO薄膜可以在多种基板上生长,基板包括玻璃、硅片、蓝宝石、金属,有利于降低生产成本,而且工艺成熟,方便规模化生产。本发明所述褶皱状立体多孔ZnO薄膜适用范围广,有望在气敏探测器和光催化降解等领域发挥积极作用。
搜索关键词: 一种 褶皱 立体 多孔 zno 薄膜 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种褶皱状立体多孔ZnO薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)混合溶液A的制备:醋酸锌、聚乙二醇、乙醇按0.05‑0.6g:0.05‑0.6g:10‑150mL的比例混合,搅拌,获得混合溶液A,备用;(2)混合薄膜B的制备:将基板加热,将步骤(1)制备的混合溶液A喷到基板上,获得醋酸锌和聚乙二醇的混合薄膜B,备用;(3)高温烧结处理:将步骤(2)制备的混合薄膜B加热并保温一段时间,然后降温,即获得所述褶皱状立体多孔ZnO薄膜。
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