[发明专利]一种褶皱状立体多孔ZnO薄膜及其制备方法有效
申请号: | 201811072745.3 | 申请日: | 2018-09-14 |
公开(公告)号: | CN109338339B | 公开(公告)日: | 2020-12-01 |
发明(设计)人: | 杨为家;刘俊杰;刘铭全;何鑫;刘志豪;刘艳怡;王诺媛;蒋庭辉;江嘉怡 | 申请(专利权)人: | 五邑大学 |
主分类号: | C23C18/12 | 分类号: | C23C18/12 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 梁嘉琦 |
地址: | 529000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种褶皱状立体多孔ZnO薄膜及其制备方法。所述褶皱状立体多孔ZnO薄膜经过醋酸锌、聚乙二醇、乙醇按0.05‑0.6g:0.05‑0.6g:10‑150mL的比例混合制备混合溶液,醋酸锌和聚乙二醇混合薄膜的制备以及混合薄膜的高温烧结处理三步制备完成。本发明所述褶皱状立体多孔ZnO薄膜可以在多种基板上生长,基板包括玻璃、硅片、蓝宝石、金属,有利于降低生产成本,而且工艺成熟,方便规模化生产。本发明所述褶皱状立体多孔ZnO薄膜适用范围广,有望在气敏探测器和光催化降解等领域发挥积极作用。 | ||
搜索关键词: | 一种 褶皱 立体 多孔 zno 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种褶皱状立体多孔ZnO薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)混合溶液A的制备:醋酸锌、聚乙二醇、乙醇按0.05‑0.6g:0.05‑0.6g:10‑150mL的比例混合,搅拌,获得混合溶液A,备用;(2)混合薄膜B的制备:将基板加热,将步骤(1)制备的混合溶液A喷到基板上,获得醋酸锌和聚乙二醇的混合薄膜B,备用;(3)高温烧结处理:将步骤(2)制备的混合薄膜B加热并保温一段时间,然后降温,即获得所述褶皱状立体多孔ZnO薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于五邑大学,未经五邑大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201811072745.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理