[发明专利]一种基于损耗检测的声表面波压力传感器

摘要

一种基于损耗检测的声表面波压力传感器，包括基片、叉指换能器、第一金属反射栅阵和第二金属反射栅阵；基片上中心位置处设置有叉指换能器，叉指换能器的一侧设置有第一金属反射栅阵，另一侧设置有第二金属反射栅阵，叉指换能器和第一金属反射栅阵之间形成间隔，叉指换能器和第二金属反射栅阵形成间隔；叉指换能器两端汇流条处均连接输出引线。本发明压力传感器压力检测方法基于器件的损耗变化，传感器实现过程中无需制备压力参考腔，极大地降低了工艺难度，良品率高，适用于半导体加工的大批量生产。

主权项

1.一种基于损耗检测的声表面波压力传感器，其特征在于包括：基片(1)、叉指换能器(2)、第一金属反射栅阵(3)和第二金属反射栅阵(4)；基片(1)上中心位置处设置有叉指换能器(2)，叉指换能器(2)的一侧设置有第一金属反射栅阵(3)，另一侧设置有第二金属反射栅阵(4)，叉指换能器(2)和第一金属反射栅阵(3)之间形成间隔(5)，叉指换能器(2)和第二金属反射栅阵(4)形成间隔(6)；所述叉指换能器(2)两端汇流条处均连接输出引线。