[发明专利]一种具有自洁功能的梳齿驱动器有效
| 申请号： | 201811077408.3 | 申请日： | 2018-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN109256979B | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 宋秀敏;夏长锋;何伟;乔大勇 | 申请（专利权）人： | 西安知微传感技术有限公司 |
| 主分类号： | H02N2/00 | 分类号： | H02N2/00 |
| 代理公司： | 61211 西安智邦专利商标代理有限公司 | 代理人： | 汪海艳 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市高新区*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于微机电(MEMS)领域，涉及一种梳齿驱动器,具体涉及一种具有自洁功能的梳齿驱动器。包括驱动梳齿，还包括设置在硅衬底上的吸附电极，吸附电极包括至少一对电极对，其中一个电极接地，另一个电极接正电平或负电平信号；吸附电极与驱动梳齿之间通过绝缘槽隔离，吸附电极与驱动梳齿均位于封闭外壳内部。解决了由于颗粒沉积在驱动梳齿而引起的梳齿驱动器工作的可靠性低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 梳齿驱动器 驱动梳齿 吸附电极 自洁功能 电极 负电平信号 电极接地 封闭外壳 颗粒沉积 硅衬底 绝缘槽 微机电 正电平 隔离 | ||
【主权项】：
1.一种具有自洁功能的梳齿驱动器，包括封闭外壳(1)、硅衬底(6)及驱动梳齿(2)，其特征在于：/n还包括设置在硅衬底(6)上的吸附电极(3)，所述吸附电极(3)包括至少一对电极对，其中一个电极接地，另一个电极接正电平或负电平信号；吸附电极(3)电极对中的其中一个电极包括电极本体、活动梁及活动梁支撑锚点；电极本体通过活动梁与支撑锚点固连；/n吸附电极(3)与驱动梳齿(2)之间通过绝缘槽(4)隔离，吸附电极(3)与驱动梳齿(2)均位于封闭外壳(1)内部。/n
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