[发明专利]托架机构及反应腔室有效
| 申请号： | 201811082057.5 | 申请日： | 2018-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN110904424B | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 周倩如;李冰;赵康宁;赵可可 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/52 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种托架机构及反应腔室，托架机构包括托盘和托架臂，其中，托盘用于承载遮蔽盘，且能移动至位于反应腔室内的基座上方的遮蔽位置，或者移动至远离基座的非遮蔽位置，托盘中设有第一冷却通道；托架臂与托盘连接，且托架臂中设有第二冷却通道，第二冷却通道与第一冷却通道相连通。本发明提供的托架机构及反应腔室能够对遮蔽盘进行冷却，以减少反应腔室中气体和杂质的产生，提高晶片的薄膜沉积工艺质量，减少设备的等待时间，提高设备的利用率，避免石英窗破裂或密封变差，以增强腔室的密封性。 | ||
| 搜索关键词： | 托架 机构 反应 | ||
【主权项】：
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