[发明专利]传感器封装件有效
申请号: | 201811082514.0 | 申请日: | 2018-09-17 |
公开(公告)号: | CN109516436B | 公开(公告)日: | 2023-05-30 |
发明(设计)人: | D.E.瓦格纳 | 申请(专利权)人: | 测量专业股份有限公司 |
主分类号: | B81B7/00 | 分类号: | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 贺紫秋 |
地址: | 美国新*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种传感器组件,包括限定了空腔的壳体和布置在空腔中的压力传感器封装件。压力传感器封装件包括基板、半导体管芯、和至少一个导电元件,该基板具有穿过其限定的孔,该半导体管芯包括附接到基板的传感隔膜,使得隔膜经由孔露出,该至少一个导电元件与布置在基板上的半导体管芯电连通。密封元件,例如弹性体O型环,提供壳体和基板之间的密封。连接件经由卷边连接固定到壳体,用于建立压力传感器封装件和外部系统之间的电连接。 | ||
搜索关键词: | 传感器 封装 | ||
【主权项】:
1.一种传感器组件,包括:壳体,限定了空腔;压力传感器封装件,布置在空腔中且包括:基板,具有穿过其中限定的孔;半导体管芯,包括附接到基板的传感隔膜,使得隔膜经由孔露出;管芯壳体,布置在基板上且围绕半导体管芯,管芯壳体限定穿过其中形成的孔;和至少一个导电元件,布置在孔中且与半导体管芯电连通;和密封元件,用于提供壳体和基板之间的密封。
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