[发明专利]一种导电薄膜的溅镀成型装置

摘要

本发明属于溅镀成型技术领域，具体的说是一种导电薄膜的溅镀成型装置，包括装置本体、桌体、桌腿、支撑块、桌台、真空封闭室、第一隔板、第二隔板、第三隔板、放卷室、溅镀室、加热室、收卷室、放卷辊、薄膜基材、传送辊、导电薄膜、传送速度限定辊、溅镀室隔板、收卷室隔板、收卷辊、薄膜传送辊筒、金属靶材阴极、电浆处理器、第一隔离板、第二隔离板、第三隔离板、第四隔离板、垂直限位辊、加热器、加热板、制冷器和制冷板，所述装置本体包括桌体，本发明设置有第一隔离板、第二隔离板、第三隔离板、第四隔离板和电浆处理器，从而在进行溅镀工作时可保证导电薄膜的溅镀稳定性，从而保证了装置的成品质量。

主权项

1.一种导电薄膜的溅镀成型装置，包括装置本体(1)，其特征在于：所述装置本体(1)包括桌体(2)，所述桌体(2)顶部固定安装有桌台(5)，所述桌台(5)顶部固定安装有真空封闭室(6)，所述真空封闭室(6)内部底板顶部固定安装有第一隔板(7)、第二隔板(8)和第三隔板(9)，所述第一隔板(7)、所述第二隔板(8)和所述第三隔板(9)依次安装在所述真空封闭室(6)内部，所述第一隔板(7)与所述真空封闭室(6)一侧内壁之间形成放卷室(10)，所述第一隔板(7)和所述第二隔板(8)之间形成溅镀室(11)；所述第二隔板(8)和所述第三隔板(9)之间形成加热室(12)，所述第三隔板(9)和所述真空封闭室(6)内部另一侧内壁之间形成收卷室(13)，所述放卷室(10)内部设置有放卷辊(14)，所述放卷辊(14)上缠绕有薄膜基材(15)，所述放卷室(10)内部设置有若干个传送辊(16)，所述放卷辊(14)与相邻的一个所述传送辊(16)之间通过薄膜基材(15)连接，所述溅镀室(11)内部设置有薄膜传送辊筒(22)，所述薄膜传送辊筒(22)四侧设置有若干个金属靶材阴极(23)，所述加热室(12)内部设置有若干个加热器(30)和制冷器(32)，所述第二隔板(8)和所述第三隔板(9)的顶部一端分别固定安装有溅镀室隔板(19)和收卷室隔板(20)，所述收卷室(13)内部设置有收卷辊(21)，所述收卷辊(21)与所述传送辊(16)之间通过导电薄膜(17)连接。