[发明专利]一种超快激光组合脉冲序列的阵列微纳结构加工方法

摘要

本发明提供一种超快激光组合脉冲序列的阵列微纳结构加工方法，包括以下步骤：将工件表面研磨抛光并清洗、干燥后，固定于超精密平台上；由工业控制计算机通过激光控制器启动激光发生器发射激光束至工件表面完成激光对焦后，调整超精密平台确定工件加工区域；加工时，通过激光控制器选择飞秒激光器或皮秒激光器发射激光束，经光路切换模块实现超快激光脉冲自由组合，根据所需的微纳结构进行加工；加工完成后，将工件取下，经清洗、干燥后即得到成品。本发明提供了材料微纳加工中激光加工工艺新的组合方式，可根据加工需求选择飞秒激光或皮秒激光，并通过光路切换的方式对超快激光脉冲序列进行灵活组合，有效提高微纳结构的加工效率与质量。

主权项

1.一种超快激光组合脉冲序列的阵列微纳结构加工方法，其特征在于，包括以下步骤：S1.将所需加工的工件表面进行研磨抛光处理，经有机溶剂超声清洗并干燥后，固定于超精密平台上；S2.由工业控制计算机通过激光控制器启动激光发生器发射激光束至工件表面完成激光对焦后，关闭激光发生器，并调整超精密平台确定工件的加工区域；S3.工件加工时，由工业控制计算机开启激光控制器，激光控制器可选择激光发生器中的飞秒激光器或皮秒激光器发射激光束，经光路切换模块在加工过程反复切换以实现超快激光脉冲的自由组合，再经聚焦模块入射至工件表面，根据所需求的微纳结构进行加工，同时喷射辅助气体；其中，激光加工工艺参数可通过工业控制计算机在线调整；S4.加工完成后，将工件取下，经有机溶剂超声清洗并干燥后即得到成品。