[发明专利]晶圆托盘的加工方法有效
| 申请号： | 201811093302.2 | 申请日： | 2018-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN110919295B | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;占卫君 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种晶圆托盘的加工方法，将毛坯件放入数控机床中，采用全周夹具将所述毛坯件固定后，通过特别的全周夹具设置保证后续精加工后的所述毛坯件的平面度；然后将经过精加工后的所述毛坯件从所述数控机床中取出，并放入精铣加工中心，采用铣孔夹具将所述毛坯件固定，进行精铣加工，铣出晶圆托盘的细节，从而形成初级晶圆托盘；随后，对所述初级晶圆托盘进行抛光以保障平面的光洁度；最后对抛光后的所述初级晶圆托盘部分区域进行阳极氧化以提高所述晶圆托盘的耐磨性能。在加工的过程中给每一步的加工都对应设置相应的夹具，使得加工出来的晶圆托盘平面度与平行度有保障。 | ||
| 搜索关键词： | 托盘 加工 方法 | ||
【主权项】：
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