[发明专利]一种硅片自动化加工用下料装置在审

专利信息
申请号: 201811094387.6 申请日: 2018-09-19
公开(公告)号: CN109273393A 公开(公告)日: 2019-01-25
发明(设计)人: 周建明 申请(专利权)人: 常山千帆工业设计有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/68
代理公司: 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 代理人: 陈娟
地址: 324200 浙江省衢州市常*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及一种硅片自动化加工用下料装置,包括硅片原料传送带,硅片原料传送带端部设有倾斜的导料板,导料板的下方设有硅片抛光机构,硅片抛光机构的一侧设有硅片成品下料传送带,所述硅片抛光机构与导料板之间设有下料传送机构,所述硅片抛光机构包括抛光盘,抛光盘的背面连接第一旋转电机,第一旋转电机的尾部连接固定的升降气缸;抛光盘的下方设有抛光工位盘,抛光工位盘上设有多个抛光工位槽,抛光工位槽贯穿抛光工位盘,抛光工位盘的下方设有托盘,托盘的表面与抛光工位盘的底部接触。该装置实现了硅片的加工以及下料的自动化。
搜索关键词: 抛光工位 硅片抛光 硅片 导料板 抛光盘 自动化加工 硅片原料 下料装置 旋转电机 托盘 下料传送机构 传送带端部 下料传送带 连接固定 升降气缸 装置实现 传送带 下料 背面 自动化 贯穿 加工
【主权项】:
1.一种硅片自动化加工用下料装置,包括硅片原料传送带,硅片原料传送带端部设有倾斜的导料板,导料板的下方设有硅片抛光机构,硅片抛光机构的一侧设有硅片成品下料传送带,其特征在于,所述硅片抛光机构与导料板之间设有下料传送机构,所述硅片抛光机构包括抛光盘,抛光盘的背面连接第一旋转电机,第一旋转电机的尾部连接固定的升降气缸;所述抛光盘的下方设有抛光工位盘,抛光工位盘上设有多个抛光工位槽,抛光工位槽贯穿抛光工位盘,抛光工位盘的下方设有托盘,托盘的表面与抛光工位盘的底部接触,托盘的下方设有横向折板,横向折板上设有第二旋转电机,托盘的中部设有通孔,第二旋转电机的电机轴穿过通孔与所述抛光工位盘连接,横向折板上固定伸缩气缸,伸缩气缸的气缸杆与托盘的底部连接。
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