[发明专利]一种硅片自动化加工用下料装置在审
申请号: | 201811094387.6 | 申请日: | 2018-09-19 |
公开(公告)号: | CN109273393A | 公开(公告)日: | 2019-01-25 |
发明(设计)人: | 周建明 | 申请(专利权)人: | 常山千帆工业设计有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/68 |
代理公司: | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人: | 陈娟 |
地址: | 324200 浙江省衢州市常*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种硅片自动化加工用下料装置,包括硅片原料传送带,硅片原料传送带端部设有倾斜的导料板,导料板的下方设有硅片抛光机构,硅片抛光机构的一侧设有硅片成品下料传送带,所述硅片抛光机构与导料板之间设有下料传送机构,所述硅片抛光机构包括抛光盘,抛光盘的背面连接第一旋转电机,第一旋转电机的尾部连接固定的升降气缸;抛光盘的下方设有抛光工位盘,抛光工位盘上设有多个抛光工位槽,抛光工位槽贯穿抛光工位盘,抛光工位盘的下方设有托盘,托盘的表面与抛光工位盘的底部接触。该装置实现了硅片的加工以及下料的自动化。 | ||
搜索关键词: | 抛光工位 硅片抛光 硅片 导料板 抛光盘 自动化加工 硅片原料 下料装置 旋转电机 托盘 下料传送机构 传送带端部 下料传送带 连接固定 升降气缸 装置实现 传送带 下料 背面 自动化 贯穿 加工 | ||
【主权项】:
1.一种硅片自动化加工用下料装置,包括硅片原料传送带,硅片原料传送带端部设有倾斜的导料板,导料板的下方设有硅片抛光机构,硅片抛光机构的一侧设有硅片成品下料传送带,其特征在于,所述硅片抛光机构与导料板之间设有下料传送机构,所述硅片抛光机构包括抛光盘,抛光盘的背面连接第一旋转电机,第一旋转电机的尾部连接固定的升降气缸;所述抛光盘的下方设有抛光工位盘,抛光工位盘上设有多个抛光工位槽,抛光工位槽贯穿抛光工位盘,抛光工位盘的下方设有托盘,托盘的表面与抛光工位盘的底部接触,托盘的下方设有横向折板,横向折板上设有第二旋转电机,托盘的中部设有通孔,第二旋转电机的电机轴穿过通孔与所述抛光工位盘连接,横向折板上固定伸缩气缸,伸缩气缸的气缸杆与托盘的底部连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造