[发明专利]一种湿式机台槽内载具及其工作方式

摘要

本发明公开了一种湿式机台槽内载具及其工作方式，其结构包括载具架、机台槽、气体通入装置传动机构、密封舱、气体输入管道、气体干燥装置、吸气机、气体过滤装置、载具座、气体通入装置和铁氟龙顶杆，所述载具座设于机台槽内，所述密封舱设于载具座上，所述气体通入装置传动机构设于密封舱内，所述载具架设于载具座上端，所述铁氟龙顶杆固定于载具座上，所述气体通入装置设于载具座上且位于铁氟龙顶杆下侧，所述气体输入管道两端分别连接气体通入装置和吸气机，所述气体过滤装置与气体干燥装置在吸气机与气体通入装置之间的气体输入管道依次安装，本发明增加铁氟龙顶杆和气体通入装置使产品在载具内做顺/逆时针移动，提升制程均匀度与产品良率。

主权项

1.一种湿式机台槽内载具，包括载具架(1)、机台槽(2)、气体通入装置传动机构(3)、密封舱(4)、气体输入管道(5)、气体干燥装置(6)、吸气机(7)、气体过滤装置(8)、载具座(9)、气体通入装置(10)以及铁氟龙顶杆(11)，其特征在于，所述载具座(9)设于机台槽(2)内，所述密封舱(4)设于载具座(9)上，所述气体通入装置传动机构(3)设于密封舱(4)内，所述载具架(1)设于载具座(9)上端，所述铁氟龙顶杆(11)固定于载具座(9)上，所述气体通入装置(10)设于载具座(9)上且位于铁氟龙顶杆(11)下侧，所述气体输入管道(5)一端连接气体通入装置(10)，另一端连接吸气机(7)，所述气体过滤装置(8)与气体干燥装置(6)在吸气机(7)与气体通入装置(10)之间的气体输入管道(5)依次安装；所述载具架(1)为上大下小的支架，所述载具架(1)侧壁下端设有凹槽，所述凹槽恰好与铁氟龙顶杆(11)相配合，所述载具架(1)侧壁涂有铁氟龙。