[发明专利]一种曝光机及其传送基板的方法有效
| 申请号： | 201811094615.X | 申请日： | 2018-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN109384062B | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 王威 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B65H5/08 | 分类号： | B65H5/08 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种曝光机，包括基台部，端口部以及传送结构；所述基台部包括工作台、以及承片框，所述承片框位于所述工作台上，用于放置托盘，所述托盘用于盛放基板；所述端口部用作所述曝光机的入料口和出料口；所述传送机构包括上臂、下臂以及可移动式的托盘导轨，所述托盘导轨连接所述基台部与所述端口部，其中，所述下臂设置有挂钩，用于钩取所述托盘并将所述托盘移至所述端口部。有益效果：本发明通过采用下臂上的挂钩钩取托盘的方式将托盘直接从基台部拉取到端口部，进而传送出曝光机，与此同时，使用上臂夹取下一组基板进行曝光制程，减少了基板在曝光机中由于上下臂交换导致的节拍时间的流失，达到提高生产效率的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 及其 传送 方法 | ||
【主权项】：
1.一种曝光机，其特征在于，包括：基台部，包括工作台以及承片框，所述承片框位于所述工作台上，用于放置托盘，所述托盘用于盛放基板；端口部，用作所述曝光机的入料口和出料口；传送机构，包括上臂、下臂以及可移动式的托盘导轨，所述托盘导轨连接所述基台部与所述端口部；其中，所述下臂设置有挂钩，用于钩取所述托盘并将所述托盘移至所述端口部。
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