[发明专利]一种高性能表面波滤波器

摘要

本发明提供一种高性能声表面波滤波器，包括基板、支撑柱、设置于支撑柱上部的压电材料层以及处于该压电材料层上部的换能器组件；支撑柱中间部位为中空结构，在压电材料层与基板之间形成有利于声表面波被压电材料层传播的中空区域；换能器组件包括发送换能器单元以及接收换能器单元；且该发送换能器单元包括第一金属电极组件以及信号源单元，实际运行过程中，由发送换能器单元与压电材料层共同形成的声表面波进入该中空区域内部，经过中空区域的反射，最终被压电材料层吸收传播到接收换能器单元部位，由于中空区域可以对声表面波进行较好的反射，避免了传统结构中声表面波被基板吸收的不良效果，更有利于滤波器功能的实现，效果突出。

主权项

1.一种高性能声表面波滤波器，其特征在于：包括基板、设置于所述基板上部的支撑柱、设置于所述支撑柱上部的压电材料层以及处于该所述压电材料层上部的换能器组件；所述支撑柱中间部位为中空结构，在压电材料层与基板之间形成有利于声表面波在压电材料层传播的中空区域；所述换能器组件包括发送换能器单元以及接收换能器单元；且该发送换能器单元包括用于形成反压电效应、产生弹性形变、生成声表面波的第一金属电极组件以及与所述第一金属电极组件电性连接的信号源单元；所述接收换能器单元包括用于形成正压电效应、产生电信号的第二金属电极组件以及与所述第二金属电极组件电性连接的组件单元。