[发明专利]显示基板及其制备方法、显示装置

摘要

本发明公开了显示基板及其制备方法、显示装置。该方法包括：提供衬底；在衬底上形成开关薄膜晶体管前驱体以及驱动薄膜晶体管前驱体，开关薄膜晶体管前驱体以及驱动薄膜晶体管前驱体均包括依次层叠设置的半导体层、栅极绝缘材料层以及栅极金属层；在开关薄膜晶体管前驱体以及驱动薄膜晶体管前驱体上方形成光刻胶层，并基于光刻胶层形成刻蚀掩膜版，开关薄膜晶体管前驱体处的刻蚀掩膜版，与驱动薄膜晶体管前驱体处的刻蚀掩膜版的形状不相同；基于刻蚀掩膜版，对开关薄膜晶体管前驱体以及驱动薄膜晶体管前驱体进行刻蚀处理，以形成开关薄膜晶体管以及驱动薄膜晶体管。由此，该方法工艺简单、产品良率高，制备的显示基板的显示性能优异。

主权项

1.一种显示基板的制备方法，其特征在于，包括：提供衬底；在所述衬底上形成开关薄膜晶体管前驱体以及驱动薄膜晶体管前驱体，所述开关薄膜晶体管前驱体以及所述驱动薄膜晶体管前驱体均包括依次层叠设置的半导体层、栅极绝缘材料层以及栅极金属层；在所述开关薄膜晶体管前驱体以及所述驱动薄膜晶体管前驱体上方形成光刻胶层，并基于所述光刻胶层形成刻蚀掩膜版，所述开关薄膜晶体管前驱体处的所述刻蚀掩膜版，与所述驱动薄膜晶体管前驱体处的所述刻蚀掩膜版的形状不相同；基于所述刻蚀掩膜版，对所述开关薄膜晶体管前驱体以及驱动薄膜晶体管前驱体进行刻蚀处理，以形成开关薄膜晶体管以及驱动薄膜晶体管。