[发明专利]用于同时测量弯曲应变和压力的传感器有效
| 申请号： | 201811098684.8 | 申请日： | 2018-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN110926660B | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 潘曹峰;鲍容容;付胜 | 申请（专利权）人： | 北京纳米能源与系统研究所 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 101400 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于同时测量弯曲应变和压力的传感器，所述传感器包括从下到上依次设置的第一支撑层、金属薄膜层、介质层、第二支撑层以及电极层；所述金属薄膜层嵌置在所述第一支撑层与所述介质层之间，用于感应弯曲应变，所述电极层与所述金属薄膜层平行地设置，用于与所述金属薄膜层形成电容式压力传感器。根据本发明的传感器能够同时检测压力和弯曲应变，其制作过程无毒且无需掩膜，节省成本。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 同时 测量 弯曲 应变 压力 传感器 | ||
【主权项】：
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