[发明专利]基于小波域相位提取的缺陷检测方法及检测装置在审
申请号: | 201811099993.7 | 申请日: | 2018-09-20 |
公开(公告)号: | CN110174422A | 公开(公告)日: | 2019-08-27 |
发明(设计)人: | 周仲兴;徐加明;李水能 | 申请(专利权)人: | 立讯精密工业(昆山)有限公司 |
主分类号: | G01N23/041 | 分类号: | G01N23/041 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥;祁建国 |
地址: | 215324 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种基于小波域相位提取的缺陷检测方法及检测装置。检测方法包括:(1)设置同轴相衬成像参数,所述成像参数包括光源到待成像物体的距离L1、待成像物体到探测器的距离L2;(2)设置放射成像系统的曝光参数,获得所述放射成像系统的系统点扩散函数h(x,y)及其曲线;(3)放置待成像物体,并在所述成像参数条件下对所述待成像物体成像,获得成像结果IN(x,y);(4)根据所述成像结果IN(x,y)对归一化相衬图像g(I)进行小波变换,获得所述归一化相衬图像g(I)的相位抽取结果;(5)根据所述相位抽取结果,计算得到所述待成像物体的相位信息图像。 | ||
搜索关键词: | 待成像物体 放射成像系统 成像参数 成像结果 检测装置 缺陷检测 相位提取 归一化 小波域 图像 抽取 点扩散函数 曝光参数 相衬成像 相位信息 小波变换 探测器 同轴 成像 光源 检测 | ||
【主权项】:
1.一种基于小波域相位提取的缺陷检测方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)设置同轴相衬成像参数,所述成像参数包括光源到待成像物体的距离L1、待成像物体到探测器的距离L2;(2)设置放射成像系统的曝光参数,获得所述放射成像系统的系统点扩散函数h(x,y)及其曲线,其中,x,y是空间位置坐标;(3)放置待成像物体,并在所述成像参数、所述曝光参数条件下对所述待成像物体成像,获得成像结果IN(x,y),其中,x,y是空间位置坐标;(4)根据所述成像结果IN(x,y)、所述系统点扩散函数h(x,y)对归一化相衬图像g(I)进行变换,获得所述归一化相衬图像g(I)的相位抽取结果;(5)根据所述相位抽取结果,计算得到所述待成像物体的相位信息图像;其中,对步骤(4)中的所述归一化相衬图像进行小波变换。
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