[发明专利]一种OLED显示面板及其制备方法、蒸镀用掩膜板在审
| 申请号： | 201811100465.9 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN109136835A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 张涛 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L27/32;H01L51/56;H01L51/00 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请提供一种OLED显示面板及其制备方法、蒸镀用掩膜板，所述蒸镀用掩膜板包括：开口部，对应于多个镀膜区域；遮挡部，对应于多个所述镀膜区域之外的非镀膜区域；阻挡膜，对应设置于所述开口部位置，且固定于所述遮挡部上；其中，所述阻挡膜用以控制膜材的透过率，所述阻挡膜的不同区域的所述透过率不同。 | ||
| 搜索关键词： | 阻挡膜 蒸镀 镀膜区域 开口部 透过率 掩膜板 制备 遮挡 非镀膜区域 控制膜 掩膜 申请 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀用掩膜板，其特征在于，包括：开口部，对应于多个镀膜区域；遮挡部，对应于多个所述镀膜区域之外的非镀膜区域；阻挡膜，对应设置于所述开口部位置，且固定于所述遮挡部上；其中，所述阻挡膜用以控制膜材的透过率，所述阻挡膜的不同区域的所述透过率不同。
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