[发明专利]波纹管以及薄膜沉积设备有效
| 申请号： | 201811105905.X | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN110939800B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 王帅伟;兰云峰;王勇飞 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F16L11/15 | 分类号： | F16L11/15;F16L27/12;C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 柴亮;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种波纹管以及薄膜沉积设备，属于沉积设备技术领域，其可至少部分解决现有的可伸长或者收缩的波纹管不能自限位的问题。本发明的一种波纹管，包括：本体，本体能够在轴向上伸长或者缩短；销轴，设于本体外侧，且处于本体的轴向上的第一位置；挂钩，挂钩的第一端与本体外侧连接，且处于本体的轴向上的第二位置，挂钩的第二端具有与销轴匹配的挂接结构，当第一位置与第二位置之间的轴向长度处于预定长度时，销轴能卡入挂接结构内，以限定第一位置与第二位置之间的轴向长度。 | ||
| 搜索关键词： | 波纹管 以及 薄膜 沉积 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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