[发明专利]一种掩膜版检测装置及方法、掩膜版库设备有效
| 申请号： | 201811106744.6 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN110941145B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 唐文力;祝玥华;吴钱忠;朱骏宇;陈淮阳 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种掩膜版检测装置及方法、掩膜版库设备。其中，掩膜版检测装置包括：光源模块、掩膜版检测模块和信号处理模块；光源模块包括第一多路选通开关和多个第一光源；第一多路选通开关用于控制第一光源发出第一检测光线；掩膜版检测模块包括第二多路选通开关和多个第一传感器；第一传感器用于接收第一检测光线并转换为第一检测电信号；第二多路选通开关用于控制第一传感器接收第一检测光线；信号处理模块用于获取第一传感器的第一检测电信号并判断第一传感器所处的掩膜版槽是否存在掩膜版。本发明实施例提供的技术方案，可解决现有掩膜版库设备设置的掩膜版检测装置的数量较多，占用空间较大，装配精度要求较高的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 检测 装置 方法 掩膜版库 设备 | ||
【主权项】：
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