[发明专利]一种柔性显示装置及其制备方法

摘要

本发明提供一种柔性显示装置，包括柔性衬底，柔性衬底上依次层叠设置有有源层、栅极绝缘层、栅极金属层、层间绝缘层、第二金属层、平坦层以及发光层和封装层；其中，栅极绝缘层覆盖有源层，层间绝缘层覆盖栅极金属层，平坦层覆盖层间绝缘层以及所述第二金属层；其中，层间绝缘层上开设有多条沟道，沟道两端向层间绝缘层边缘延伸以贯穿层间绝缘层。在保证层间绝缘层良好的绝缘特性和氢化功能的前提下，使沟道成为显示装置弯曲时形变发生的主要区域，而由于沟道底部的无机膜层厚度较小，因此可承受更大的弯曲应力，提高了显示装置在弯曲应力下的可靠性，同时防止层间绝缘层在弯曲应力下产生裂纹及裂纹扩展导致薄膜晶体管器件的失效。

主权项

1.一种柔性显示装置，其特征在于，所述柔性显示装置包括：柔性衬底；设置于所述柔性衬底表面的有源层；设置于所述柔性衬底上且覆盖所述有源层的栅极绝缘层；设置于所述栅极绝缘层上的栅极金属层；设置于所述栅极绝缘层上且覆盖所述栅极金属层的层间绝缘层；设置于所述层间绝缘层上的第二金属层；设置于所述栅极绝缘层且覆盖所述层间绝缘层和所述第二金属层的平坦层；设置于所述平坦层上的发光层和封装层；其中，所述层间绝缘层上开设有多条沟道，所述沟道两端向所述层间绝缘层边缘延伸以贯穿所述层间绝缘层；位于所述第二金属层下方的层间绝缘层在竖向上的投影包纳所述第二金属层在竖向上的投影。