[发明专利]基板反转装置、基板处理装置以及基板夹持装置

摘要

本发明提供一种基板反转装置、基板处理装置以及基板夹持装置。在基板反转装置中，多个下导向件使随着向基板的宽度方向内侧而向下方的下倾斜面与水平状态的基板的周缘部接触，并从下方支撑基板。多个上导向件使随着向宽度方向内侧而向上方的上倾斜面与基板的周缘部接触，在与多个下导向件之间夹持基板。各下导向件具备通过切换机构切换而选择性地成为下倾斜面的第一下接触区域以及第二下接触区域。各上导向件具备通过切换机构进行切换而选择性地成为上倾斜面的第一上接触区域以及第二上接触区域。由此，能够配合基板的状态切换上导向件以及下导向件中的与基板的接触区域。

主权项

1.一种基板反转装置，其特征在于，具备：多个下导向件，其使随着向基板的宽度方向内侧而向下方的下倾斜面与水平状态的上述基板的周缘部接触，并从下方支撑上述基板；多个上导向件，其使随着向上述宽度方向内侧而向上方的上倾斜面在比与上述多个下导向件的接触位置靠上侧与上述基板的周缘部接触，并在与上述多个下导向件之间夹持上述基板；反转机构，其通过使上述多个下导向件以及上述多个上导向件以朝向水平方向的旋转轴为中心旋转，从而使由上述多个下导向件以及上述多个上导向件夹持的上述基板反转；导向件移动机构，其使上述多个下导向件以及上述多个上导向件在与上述基板接触的接触位置与比上述接触位置从上述基板离开的退避位置之间进退；以及切换机构，其改变上述多个下导向件以及上述多个上导向件与上述基板的接触状态，各下导向件具备通过上述切换机构进行切换而选择性地成为上述下倾斜面的第一下接触区域以及第二下接触区域，各上导向件具备通过上述切换机构进行切换而选择性地成为上述上倾斜面的第一上接触区域以及第二上接触区域。