[发明专利]位置检测装置及蒸镀装置有效
| 申请号： | 201811108141.X | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN109609901B | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 吉田雄一;坂内雄也;柳堀文嗣;小川庆 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 | 代理人： | 余文娟 |
| 地址： | 日本国神奈川*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种能够对基板的位置提高检测精度的位置检测装置及蒸镀装置。位置检测装置(10)具备：拍摄部(11)，其拍摄第1像和第2像，该第1像基于由基板(W)的平坦部(Wp1)反射的光形成，该第2像基于由与平坦部(Wp1)连接的斜面部(Wp2)反射的光形成；以及图像处理部(12)，其基于第1像和第2像的对比度提取平坦部(Wp1)和斜面部(Wp2)的边界作为基板(W)的外形的一部分，根据该提取的外形的一部分来确定基板(W)的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种位置检测装置，具备：拍摄部，其拍摄第1像和第2像，该第1像基于由基板的平坦部反射的光形成，该第2像基于由与所述平坦部连接的斜面部反射的光形成；以及图像处理部，其基于所述第1像和所述第2像的对比度提取所述平坦部和所述斜面部的边界作为所述基板的外形的一部分，根据该提取的外形的一部分来确定所述基板的位置。
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