[发明专利]一种石英棒对接台有效
| 申请号： | 201811110546.7 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN110941147B | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 马忠良;高沛 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种石英棒对接台，包括底座；第一安装台，其下表面与所述底座连接，并能相对所述底座在第一水平方向滑动，所述第一安装台的上表面与第一弹性元件的下端连接，所述第一弹性元件的上端用于连接第一石英棒；第二安装台，其下表面与所述底座连接，所述第二安装台的上表面连接有第二弹性元件的下端，所述第二弹性元件的上端用于连接第二石英棒，所述第二安装台与所述第一安装台在所述第一水平方向上相邻设置，且所述第一石英棒的一端朝向所述第二石英棒。本发明提供的石英棒对接台，能够降低石英棒对接过程中的崩边概率，保证石英棒的对接质量和石英棒的均光效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 对接 | ||
【主权项】：
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