[发明专利]一种气膜形状主动控制的气浮轴承在审
| 申请号： | 201811111896.5 | 申请日： | 2018-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN110925309A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 于普良;孔建益;王兴东;侯宇;汤勃;胡江山 | 申请（专利权）人： | 武汉科技大学 |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430081 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气膜形状主动控制的气浮轴承装置，包括气浮轴承本体和气膜形状控制单元。其中气浮轴承本体主要由上本体和下本体两部分组成；气膜形状控制单元主要由作动控制单元、检测单元和位置传感器三部分组成，作动控制单元根据检测单元和位置传感器的信号生成控制信号，然后再作动柔性铰链结构产生形变；柔性结构的形变会改变气浮轴承气膜形状，达到改变气膜间隙压强分布的目的，从而提高气浮轴承承载能力和动刚度。本发明不仅可以显著提高气浮轴承承载能力和动刚度，而且可以有效抑制气浮轴承的微幅振动，实现气浮轴承的高稳定性；此外，按照本发明的气膜形状主动控制气浮轴承具有结构简单紧凑，高稳定性和高精度等优点，因此尤其适用于集成电路制造和超精密数控机床等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 形状 主动 控制 轴承 | ||
【主权项】：
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