[发明专利]一种连续镀膜设备

摘要

本发明公开了一种连续镀膜设备，包括进料仓、过渡仓和至少一条镀膜室，镀膜室连接于进料仓和过渡仓之间，镀膜室内设置靶材、溅射电源和传送机构，进料仓内设置有第一基片架，过渡仓内设有第二基片架和翻转机构，第一基片架和第二基片架分别用于放置钕铁硼磁片，翻转机构为三轴翻转机械手，翻转机构包括翻转机械手X轴链、翻转机械手Y轴链、翻转机械手Z轴链、翻转机械手运行轨道、旋转臂、夹紧气缸和翻转驱动机构，旋转臂设置于翻转机械手Z轴链的输出端，夹紧气缸设置于旋转臂上，翻转机构用以将第一基片架上的钕铁硼磁片翻转至第二基片架上。本发明具有自动化程度高、钕铁硼磁片不易氧化、工作效率高的特点。

主权项

1.一种连续镀膜设备，包括进料仓（1）、过渡仓（2）和至少一条镀膜室（3），镀膜室（3）连接于进料仓（1）和过渡仓（2）之间，镀膜室（3）内设置靶材（4）、溅射电源和传送机构，溅射电源与所述靶材（4）电连接，用以向所述靶材（4）输出溅射功率，其特征在于：进料仓（1）内设置有第一基片架和进料机构，进料机构为三轴进料机械手（16），三轴进料机械手（16）包括进料机械手X轴链（17）、进料机械手Y轴链（18）、进料机械手Z轴链（19）、进料机械手运行轨道（20）、真空吸盘（21）、进料驱动机构，进料机械手X轴链（17）、进料机械手Y轴链（18）、进料机械手Z轴链（19）分别设置于进料机械手运行轨道（20）上，且通过驱动机构带动进料机械手X轴链（17）、进料机械手Y轴链（18）、进料机械手Z轴链（19）在进料机械手运行轨道（20）上滑动，真空吸盘（21）设置于进料机械手Z轴链（19）的输出端，真空吸盘（21）连接有真空发生器, 真空吸盘（21）用以将钕铁硼磁片移送至第一基片架上,过渡仓（2）内设有第二基片架和翻转机构，第一基片架和第二基片架分别用于放置钕铁硼磁片，翻转机构为三轴翻转机械手（9），翻转机构包括翻转机械手X轴链（10）、翻转机械手Y轴链（11）、翻转机械手Z轴链（12）、翻转机械手运行轨道（13）、旋转臂（14）、夹紧气缸（15）和翻转驱动机构，翻转机械手X轴链（10）、翻转机械手Y轴链（11）、翻转机械手Z轴链（12）均设置于翻转机械手运行轨道（13）上，且通过翻转驱动机构带动翻转机械手X轴链（10）、翻转机械手Y轴链（11）、翻转机械手Z轴链（12）在进翻转械手运行轨道上滑动，旋转臂（14）设置于翻转机械手Z轴链（12）的输出端，夹紧气缸（15）设置于旋转臂（14）上， 翻转机构用以将第一基片架上的钕铁硼磁片翻转至第二基片架上。