[发明专利]粉末净化处理装置在审
| 申请号： | 201811116934.6 | 申请日： | 2018-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN110882596A | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 冯五裕 | 申请（专利权）人： | 东服企业股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D50/00 | 分类号： | B01D50/00 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨;李林 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种粉末净化处理装置，包括在一器壳内规划形成有一第一水洗腔室、一粉末捕捉腔室及一第二水洗腔室，其中该第一水洗腔室具有一导入废气的入口，该第一水洗腔室内配置有一第一喷水器，该粉末捕捉腔室内配置有至少一喷水头与多个捕集环，该第二水洗腔室具有一排放废气的出口，该第二水洗腔室内配置有一第二喷水器，该入口、该第一水洗腔室、该粉末捕捉腔室、该第二水洗腔室以及该出口依序成为导引废气通过的一气体流道；如此，改善半导体废气在经过高温烧结处理的后所生成的微细粉末难以充分捕捉的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 粉末 净化 处理 装置 | ||
【主权项】：
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