[发明专利]感光性树脂组合物、固化膜、显示装置及图案形成方法在审
申请号: | 201811121141.3 | 申请日: | 2018-09-25 |
公开(公告)号: | CN109557765A | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
发明(设计)人: | 石川达郎;松本直纯;盐田大 | 申请(专利权)人: | 东京应化工业株式会社 |
主分类号: | G03F7/033 | 分类号: | G03F7/033;G03F7/004;H01L51/50;H01L51/54 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 杨宏军;唐峥 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的课题在于提供:能提供具有高遮光性的固化膜、并且通过低温下的烘烤而稳定地进行固化的感光性树脂组合物、使该感光性树脂组合物固化而形成的固化膜、具备该固化膜的显示装置、和使用前述的感光性树脂组合物的图案形成方法。另外,针对具备发光元件的基板,提供不会对发光元件造成热损伤的遮光膜形成工艺。使用下述的感光性树脂组合物,其包含(A)粘结剂树脂、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、(D)着色剂、和(E)热固性化合物,其中,作为(D)着色剂,将(D1)炭黑及/或无机黑色颜料、与(D2)有机颜料组合,并且T2/T1为0.80以上。 | ||
搜索关键词: | 感光性树脂组合物 固化膜 着色剂 发光元件 图案形成 显示装置 固化 光聚合性化合物 光聚合引发剂 热固性化合物 无机黑色颜料 有机颜料组合 粘结剂树脂 高遮光性 热损伤 遮光膜 烘烤 基板 炭黑 | ||
【主权项】:
1.感光性树脂组合物,其是用于在具备发光元件的基板上形成图案的感光性树脂组合物,其包含:(A)粘结剂树脂,(B)光聚合性化合物,(C)光聚合引发剂,(D)着色剂,和(E)热固性化合物,所述(D)着色剂包含(D1)炭黑及/或无机黑色颜料、和(D2)有机黑色颜料,针对所述感光性树脂组合物,在以下的条件下使其固化而得到固化膜,将该固化膜的厚度记为T1,将使该固化膜在丙二醇单甲基醚乙酸酯中浸渍300秒后的厚度记为T2时,T2/T1为0.80以上,条件:将所述感光性树脂组合物以厚度成为1±0.1μm的方式涂布于玻璃基板上,以200mJ/cm2的曝光量进行曝光,接下来以100℃、30分钟的条件进行烘烤,制成固化膜。
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