[发明专利]一种微流道散热器的制备方法在审
| 申请号： | 201811121903.X | 申请日： | 2018-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN109434296A | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 王韬;李秋燕;吴传贵 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | B23K26/364 | 分类号： | B23K26/364;H05K7/20 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 闫树平 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于微尺度散热领域，具体涉及一种微流道散热器的制备方法。本发明采用激光刻蚀技术，在基片上直接刻蚀形成微流道沟槽，利用激光刻蚀一次成型，且能直接形成有益的微流道沟槽内表面起伏结构；并且可通过控制激光的能量、扫描间隔、扫描周期和扫描路径，实现微流道沟槽内表面微结构的高度调控。本发明工艺简单，制作设备相对低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 微流道 散热器 沟槽内表面 制备 激光刻蚀技术 激光刻蚀 起伏结构 扫描间隔 扫描路径 扫描周期 一次成型 直接形成 制作设备 微尺度 微结构 散热 刻蚀 激光 调控 | ||
【主权项】：
1.一种微流道散热器的制备方法，包括以下步骤：步骤1、通过激光刻蚀在微流道基板或者微流道盖板上制备预设的微流道沟槽；通过激光刻蚀在微流道基板或微流道盖板上制备微流道的冷却液出入口，冷却液出入口通过微流道沟槽连通；冷却液入口通过导管外接到冷却液驱动装置，冷却液出口通过导管引出到下一级冷却装置；步骤2、将步骤1制得的微流道基板和微流道盖板键合在一起，形成微流道散热器。
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