[发明专利]检查装置在审
| 申请号： | 201811122124.1 | 申请日： | 2018-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN109597191A | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 上原诚 | 申请（专利权）人： | 株式会社目白67 |
| 主分类号： | G02B17/06 | 分类号： | G02B17/06;G02B7/182;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;王艳春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的主题在于提供一种能够高速地检查物体表面的三维形状的检查装置。本发明提供的检查装置10具备：线图像传感器20，接收来自物体表面S的光；以及等倍反射型成像光学系统30，使来自物体表面S的光在线图像传感器20上成像。等倍反射型成像光学系统30包含凹面主镜32、凸面副镜34、以及提取平面镜36。来自物体表面S的光束按照凹面主镜32、凸面副镜34、凹面主镜32的顺序被反射后，经由提取平面镜36在线图像传感器20成像。 | ||
| 搜索关键词： | 物体表面 凹面主镜 检查装置 成像光学系统 在线图像 反射型 平面镜 传感器 副镜 凸面 成像 线图像传感器 三维形状 反射 检查 | ||
【主权项】：
1.一种检查装置，具备：线图像传感器，接收来自物体表面的光；以及等倍反射型成像光学系统，使来自所述物体表面的光在所述线图像传感器上成像，所述检查装置的特征在于，所述等倍反射型成像光学系统包括凹面主镜、凸面副镜、以及提取平面镜，所述等倍反射型成像光学系统构成为使来自所述物体表面的光的光束按照所述凹面主镜、所述凸面副镜、所述凹面主镜的顺序反射后，经由所述提取平面镜在所述线图像传感器上成像。
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