[发明专利]电阻测定装置、基板检查装置以及电阻测定方法有效
| 申请号： | 201811122773.1 | 申请日： | 2018-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN109557376B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 山下宗寛 | 申请（专利权）人： | 日本电产理德股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/08 | 分类号： | G01R27/08 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都市右京区西京极*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电阻测定装置、基板检查装置以及电阻测定方法。电阻测定装置包括第一电流探针、第二电流探针，接触芯片侧电极；第一检测探针、第二检测探针，接触外向电极；电压检测部，对第一检测探针、第二检测探针间的电压进行检测；第一恒定电流源，正极与第一电流探针连接，负极与地面连接，输出第一电流值的电流；第二恒定电流源，正极与第一恒定电流源的负极及地面连接并与第一恒定电流源串联连接，负极与第二电流探针连接，输出与第一电流值实质上相同的第二电流值的电流；接地探针，使配线与地面导通；以及电阻取得部，根据由电压检测部所检测到的电压来取得配线的电阻。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻 测定 装置 检查 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电阻测定装置，其是用于测定导体的电阻，所述电阻测定装置的特征在于包括：第一电流探针及第二电流探针，用于接触所述导体并流出规定的测定用电流；第一检测探针及第二检测探针，用于接触所述导体并检测通过所述测定用电流而在所述导体中产生的电压；电压检测部，检测所述第一检测探针及所述第二检测探针间的电压；第一恒定电流源，所述第一恒定电流源的正极与所述第一电流探针连接，所述第一恒定电流源的负极与地面连接，输出事先设定的第一电流值的电流；第二恒定电流源，所述第二恒定电流源的正极与所述第一恒定电流源的负极及所述地面连接并与所述第一恒定电流源串联连接，所述第二恒定电流源的负极与所述第二电流探针连接，输出与所述第一电流值实质上相同的第二电流值的电流；接地部，使所述导体中的规定部位与所述地面导通；以及电阻取得部，根据由所述电压检测部所检测到的电压来取得所述电阻。
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