[发明专利]一种用于方形基片对中结构

摘要

本发明提供一种用于方形基片对中结构，包括支撑板、基板、对中气缸、真空立柱、第一支撑立柱、第二支撑立柱、基片和对中装置；所述基板固定安装在所述支撑板上；所述对中气缸安装在所述基板上；两个所述真空立柱对称的固定安装在所述基板上；所述第一支撑立柱和第二支撑立柱对称的固定安装在所述基板上；所述基片设置在所述真空立柱、第一支撑立柱及第二支撑立柱上端；所述对中装置设置在所述对中气缸上，用于快速对中所述基片。本发明采用机械式对中系统，通过夹持方型晶片对角的方式进行对中处理，速度快，不会造成滑片，而且检测方便。

主权项

1.一种用于方形基片对中结构，其特征在于：包括支撑板(1)、基板(2)、对中气缸(3)、真空立柱(6)、第一支撑立柱(9)、第二支撑立柱(10)、基片(11)和对中装置；所述基板(2)固定安装在所述支撑板(1)上；所述对中气缸(3)安装在所述基板(2)上；两个所述真空立柱(6)对称的固定安装在所述基板(2)上；所述第一支撑立柱(9)和第二支撑立柱(10)对称的固定安装在所述基板(2)上；所述基片(11)设置在所述真空立柱(6)、第一支撑立柱(9)及第二支撑立柱(10)上端；所述对中装置设置在所述对中气缸(3)上，用于快速对中所述基片(11)。