[发明专利]TFT基板、具有TFT基板的扫描天线及TFT基板的制造方法

摘要

本发明使扫描天线的成本降低、及提供能够使扫描天线的成本降低的TFT基板。TFT基板(101)分别具有多个天线单元区域(U)，该多个天线单元区域(U)具有TFT(10)、及与TFT的漏极电极(7D)电连接的贴片电极(15)。TFT基板具有：包含TFT的源极电极(7S)的源极金属层(7)；形成于源极金属层上、且包含TFT的栅极电极(3G)的栅极金属层(3)；TFT的半导体层(5)；以及形成在半导体层与栅极金属层之间的栅极绝缘层(4)，源极金属层还包含贴片电极。TFT基板还具有配置在非发送接收区域(R2)的源极端子部(ST)，栅极金属层还包含源极端子部的源极端子用上部连接部(3sA)。

主权项

1.一种TFT基板，其是具有电介质基板、及排列在所述电介质基板上的多个天线单元区域，所述多个天线单元区域的各个天线单元区域具有TFT和与所述TFT的漏极电极电连接的贴片电极，且具备包含所述多个天线单元区域的发送接收区域、及位于所述发送接收区域以外的区域的非发送接收区域的TFT基板，其特征在于，所述TFT基板具有：源极金属层，其由所述电介质基板支承，且包含所述TFT的源极电极、所述漏极电极、及连接到所述源极电极的源极总线；栅极金属层，其形成在所述源极金属层上，且包含所述TFT的栅极电极和连接到所述栅极电极的栅极总线；所述TFT的半导体层，其由所述电介质基板支承；以及栅极绝缘层，其形成在所述半导体层与所述栅极金属层之间，所述源极金属层还包含所述贴片电极，所述TFT基板还具有配置在所述非发送接收区域的源极端子部，所述源极端子部具有：源极端子用下部连接部，其包含于所述源极金属层，且与所述源极总线电连接；第一开口部，其形成于所述栅极绝缘层，且达到所述源极端子用下部连接部；以及源极端子用上部连接部，其在所述第一开口部内与所述源极端子用下部连接部连接，所述栅极金属层还包含所述源极端子用上部连接部。