[发明专利]带有多个加热区的基板支撑件

摘要

本文提供基板支撑件的实施方式。在某些实施方式中，基板支撑件可包括具有支撑表面的主体；及第一加热器，第一加热器设置于主体内且具有第一加热线圈与多个加热区，其中第一加热线圈的绕组间距在多个加热区之间变化，以界定多个加热区之间的预定加热比率。

主权项

1.一种基板支撑件，包括：主体，所述主体具有支撑表面；第一加热器，所述第一加热器设置于所述主体内且具有第一加热线圈与多个加热区，其中所述第一加热线圈的绕组间距在所述多个加热区的每一个之间变化，以界定所述多个加热区之间的预定加热比率；多个真空通道，所述多个真空通道设置于所述主体内且包括第一圆形真空通道、第二圆形真空通道和第三圆形真空通道，其中所述第一、第二与第三圆形真空通道是同心的；多个第一径向通道，所述多个第一径向通道在所述第一圆形真空通道与所述第二圆形真空通道之间延伸，其中所述多个第一径向通道在多个第一相交点处与所述第二圆形真空通道相交；多个第二径向通道，所述多个第二径向通道在所述第二圆形真空通道与所述第三圆形真空通道之间延伸，其中所述多个第二径向通道在不同于所述多个第一相交点的多个第二相交点处与所述第二圆形真空通道相交；及多个开口，所述多个开口设置于所述第二圆形真空通道中而将真空夹持供应流体耦接至所述多个真空通道。