[发明专利]一种腔室检漏系统有效
| 申请号： | 201811132299.0 | 申请日： | 2018-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110954281B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 邬英;汪振南;见东伟 | 申请（专利权）人： | 汉瓦技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/22 | 分类号： | G01M3/22 |
| 代理公司： | 北京正和明知识产权代理事务所(普通合伙) 11845 | 代理人： | 李建刚 |
| 地址： | 510670 广东省广州市黄埔*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供一种腔室检漏系统，其包括：与待检漏腔室连接的结构件、检漏设备和抽真空设备；待检漏腔室与结构件围成封闭空间；抽真空设备用于对所述封闭空间进行抽真空处理；检漏设备用于在所述封闭空间达到第一预设压力值后，通过向所述封闭空间的至少一处疑似泄漏点注入检测气体，并检测所述封闭空间是否溢出检测气体来判断实际泄漏点的位置。本公开所述腔室检漏系统由于设置了与镀膜设备的待检漏腔室相匹配的结构件，从而能够匹配多种尺寸的腔室，既经济又方便使用；而且，检漏设备与抽真空设备相结合，既能够实现对不同体积腔室进行检漏，尤其适用于大体积腔室的检漏，且检漏时间短，又能够准确判断出实际泄漏点的数量和具体位置，检漏精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检漏 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于汉瓦技术有限公司，未经汉瓦技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811132299.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种工件载板
- 下一篇：一种抗风型复合绝缘子及其制备工艺
