[发明专利]一种可调控形貌的金属纳米结构阵列及其制备方法和应用在审
申请号: | 201811132371.X | 申请日: | 2018-09-27 |
公开(公告)号: | CN109321904A | 公开(公告)日: | 2019-02-12 |
发明(设计)人: | 金名亮;卢涵;水玲玲;周国富 | 申请(专利权)人: | 肇庆市华师大光电产业研究院 |
主分类号: | C23C18/42 | 分类号: | C23C18/42;C23C18/38;C23C18/32;B82Y40/00 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 任重 |
地址: | 526040 广东省肇庆市*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种可调控形貌的金属纳米结构阵列及其制备方法和应用。所述制备方法包括如下步骤:S1:在单晶硅片上制备纳米图形阵列;S2:置于氢氟酸和金属盐的混合溶液中于0~100℃下进行反应;洗涤,吹干即得到可调控形貌的金属纳米结构阵列;所述混合溶液中,氢氟酸的浓度为10‑5~10 mol/L,金属盐的浓度为10‑7~10 mol/L。本发明利用简单的电化学置换方应,制备工艺简单易操作,成本低廉;制备得到的金属纳米结构阵列的形貌可控,如环状、马蹄形或单颗粒;同时还可制备出不同金属的纳米结构阵列,如:金、银、铂、钯、钴、镍或铜;可广泛应用于表面等离子体共振、催化、生物技术和传感等领域应用。 | ||
搜索关键词: | 金属纳米结构阵列 制备 形貌 可调控 制备方法和应用 混合溶液中 金属盐 氢氟酸 表面等离子体共振 纳米结构阵列 马蹄形 电化学置换 单晶硅片 领域应用 纳米图形 形貌可控 制备工艺 单颗粒 金 银 传感 吹干 催化 洗涤 生物技术 金属 应用 | ||
【主权项】:
1.一种可调控形貌的金属纳米结构阵列的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:S1:在单晶硅片上制备纳米图形阵列;S2:置于氢氟酸和金属盐的混合溶液中于0~100 ℃下进行反应;洗涤,吹干即得到可调控形貌的金属纳米结构阵列;所述混合溶液中,氢氟酸的浓度为10‑5~10 mol/L,金属盐的浓度为10‑7~10 mol/L。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于肇庆市华师大光电产业研究院,未经肇庆市华师大光电产业研究院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201811132371.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理