[发明专利]大孔径合束镜的模系均匀性修正方法及装置

摘要

本发明关于一种大孔径合束镜的模系均匀性修正方法及装置，其中方法包括以下步骤：沿镀膜基盘片径向取N个点，测量镀膜厚度，取膜厚最大处为dmax，最薄处为dmin，对应的镀膜基盘片径向半径为rmax,rmin；膜厚最大的径向位置对应的修正板最宽处，测量该最宽处的中心角为θmax，计算膜厚沿径向分布的权重因子；修正板最宽处作为原点进行均匀性修正板轮廓迭代求解，计算初始修正板的轮廓；利用计算后的初始修正板进行镀膜修正，再次测量膜厚；计算新的修正系数；计算新的修正版轮廓因子；判断镀膜厚度均匀性是否满足要求，如果不满足要求，则重复上述步骤，直到满足均匀性要求，得到最终修正板轮廓。本发明简化了修正方法，可以快速得到合适的修正板轮廓。

主权项

1.一种大孔径合束镜的模系均匀性修正方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、沿镀膜基盘片径向取N个点，测量镀膜厚度为d1，d2，……，dN，对应的镀膜基盘片径向半径为r1,r2,……,rN,取膜厚最大处为dmax，最薄处为dmin，对应的镀膜基盘片径向半径为rmax,rmin；S2、膜厚最大的径向位置对应的修正板最宽处，测量该最宽处的中心角为θmax，计算膜厚沿径向分布的权重因子c1＝d1/dmax,c2＝d2/dmax，…….,cN＝dN/dmax；修正板最宽处作为原点进行均匀性修正板轮廓迭代求解，由公式(1‑θmax/2pi)＝c1*(1‑θ1/2pi)＝c2*(1‑θ2/2pi)＝……＝cN*(1‑θN/2pi)计算初始修正板的轮廓；S3、利用计算后的初始修正板进行镀膜修正，再次测量膜厚分别为d’1，d’2，……，d’N，取膜厚最大处为d’max；S4、计算新的修正系数为c’1＝(1‑d’1/d’max),c’2＝(1‑d’2/d’max),……,c’N＝(1‑d’N/d’max)；S5、计算新的修正版轮廓因子为θ1，new＝c’1*θ1，current，θ2，new＝c’1*θ2，current，……，θN，new＝c’N*θN，current；S6、根据(d’max‑d’min)/(d’max+d’min)的值是否小于预设值来判断镀膜厚度均匀性是否满足要求,如果不满足要求，则重复步骤S3～S5，直到满足均匀性要求，得到最终修正板轮廓。