[发明专利]一种高精度单晶硅切割用顶针装置

摘要

本发明公开了一种高精度单晶硅切割用顶针装置，包括固定箱、真空泵、机床和液压泵，所述机床的上端面一侧中间处固定有置物台，所述机床上端面两侧均固定有滑轨，所述滑轨内滑动安装有支杆，所述支杆共设有两个，且两个支杆背离滑轨的一端分别固定在固定箱的下端面两端，所述固定箱的内部中间处固定有液压装置，所述液压装置的上端通过油管连接有在液压泵上，所述液压装置的下端通过转轴转动安装有控位盘，所述控位盘的外侧固定有把手，所述控位盘的下端面中间处固定有盒体。本发明具备良好的固定结构，在切割时避免单晶硅片的损坏和可转动的固定结构，方便对硅片四边进行切除，提高了工作的效率。