[发明专利]相移器及硅基电光调制器有效
申请号: | 201811134136.6 | 申请日: | 2018-09-27 |
公开(公告)号: | CN110955066B | 公开(公告)日: | 2023-08-01 |
发明(设计)人: | 涂芝娟;汪巍;方青;余明斌 | 申请(专利权)人: | 上海新微技术研发中心有限公司 |
主分类号: | G02F1/015 | 分类号: | G02F1/015;G02F1/05 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 201800 上海市嘉定区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种相移器及硅基电光调制器,相移器包括:第一掺杂类型半导体层;第二掺杂类型半导体层,与第一掺杂类型半导体层间隔排布;第一介质层,位于第一掺杂类型半导体与第二掺杂类型半导体层之间;第二介质层,位于第一介质层与第二掺杂类型半导体层之间;插入材料层,位于第一介质层与第二介质层之间,插入材料层在外部驱动电压的作用下产生负电容效应。本发明的相移器通过增设在外部驱动电压的作用下可以产生负电容效应的插入材料层,负电容效应可使得相移器内部电压得到放大,当相移器用于硅基电光调制器时,可以减小硅基电光调制器正常工作所需的外部驱动电压,大大提高硅基电光调制器的调制效率,降低硅基电光调制器的功耗。 | ||
搜索关键词: | 相移 电光 调制器 | ||
【主权项】:
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