[发明专利]图像传感器及其制造方法

摘要

本公开涉及图像传感器及其制造方法。图像传感器包括：衬底，包括感光单元阵列；在衬底之上的滤色器层，包括滤色器阵列和将滤色器阵列中的滤色器分隔开的滤色器隔离CFI结构，其中滤色器阵列包括在感光单元阵列中的多个感光单元上方对应地设置的多个滤色器；在相邻滤色器之间，在平行于衬底的方向上，CFI结构包括两个或更多个第一隔离部件以及一个或多个第二隔离部件，其中每个第二隔离部件布置在两个第一隔离部件之间；以及其中两个或更多个第一隔离部件中的各第一隔离部件的折射率小于滤色器阵列中的各滤色器的折射率，并且一个或多个第二隔离部件中的各第二隔离部件被配置为能够吸收入射到其中的光。

主权项

1.一种图像传感器，其特征在于，所述图像传感器包括：衬底，包括感光单元阵列；在所述衬底之上的滤色器层，所述滤色器层包括滤色器阵列，其中所述滤色器阵列包括在所述感光单元阵列中的多个感光单元上方对应地设置的多个滤色器，所述滤色器层还包括在所述衬底之上的将所述滤色器阵列中的多个滤色器分隔开的滤色器隔离CFI结构；在所述多个滤色器中的相邻滤色器之间，在平行于所述衬底的方向上，所述CFI结构包括两个或更多个第一隔离部件以及一个或多个第二隔离部件，其中所述一个或多个第二隔离部件中的每个第二隔离部件布置在所述两个或更多个第一隔离部件中的两个第一隔离部件之间；以及其中所述两个或更多个第一隔离部件中的各第一隔离部件的折射率小于所述滤色器阵列中的各滤色器的折射率，并且所述一个或多个第二隔离部件中的各第二隔离部件被配置为能够吸收入射到其中的光。