[发明专利]一种发光二极管外延片及其制备方法有效
申请号: | 201811137762.0 | 申请日: | 2018-09-28 |
公开(公告)号: | CN109346576B | 公开(公告)日: | 2021-02-19 |
发明(设计)人: | 乔楠;李昱桦;胡加辉;李鹏 | 申请(专利权)人: | 华灿光电(浙江)有限公司 |
主分类号: | H01L33/06 | 分类号: | H01L33/06;H01L33/12;H01L33/32;H01L33/00 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 徐立 |
地址: | 322000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种发光二极管外延片及其制备方法,属于半导体技术领域。所述发光二极管外延片包括衬底、N型半导体层、有源层和P型半导体层,所述N型半导体层、所述有源层和所述P型半导体层依次层叠在所述衬底上;所述有源层包括依次层叠的多个复合结构,每个所述复合结构包括依次层叠的阱层和垒层;所述阱层的材料采用未掺杂的氮化铟镓,所述垒层的材料采用未掺杂的氮化镓;所述复合结构还包括过渡层,所述过渡层设置在所述阱层和垒层之间;所述过渡层包括依次层叠的第一子层和第二子层,所述第一子层的材料采用未掺杂的氮化铝铟,所述第二子层的材料采用未掺杂的氮化铝。本发明可提升LED的光电性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 发光二极管 外延 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种发光二极管外延片,所述发光二极管外延片包括衬底、N型半导体层、有源层和P型半导体层,所述N型半导体层、所述有源层和所述P型半导体层依次层叠在所述衬底上;所述有源层包括依次层叠的多个复合结构,每个所述复合结构包括依次层叠的阱层和垒层;所述阱层的材料采用未掺杂的氮化铟镓,所述垒层的材料采用未掺杂的氮化镓;其特征在于,所述复合结构还包括过渡层,所述过渡层设置在所述阱层和垒层之间;所述过渡层包括依次层叠的第一子层和第二子层,所述第一子层的材料采用未掺杂的氮化铝铟,所述第二子层的材料采用未掺杂的氮化铝。
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