[发明专利]检查方法及检查装置

摘要

本发明的实施方式涉及检查方法及检查装置。实施方式的检查方法具备粗校准工序和精校准工序，在粗校准工序中，取得作为确认相对于X、Y方向的样品(2)的旋转方向上的位置偏移量是否为第1容许值以下的粗校准中使用的图案而预先设定的第1及第2图案的光学图像，基于取得结果，确认位置偏移量是否为第1容许值以下，在精校准工序中，在确认了为第1容许值以下的情况下，取得在样品(2)的光学图像上位于以沿着X、Y方向的四边构成的矩形框的不同的角部上、且在对位置偏移进行校正的精校准中使用的第3图案的光学图像，使台架(6)旋转，直到基于第3图案的光学图像检测到的位置偏移量达到比第1容许值小的第2容许值以下为止。

主权项

1.一种检查方法，使用具备台架的检查装置，检查在样品的检查区域所设置的图案的缺陷，该台架具有能够载置上述样品的XY平面，能够在X方向及Y方向上移动并且能够绕相对于上述XY平面大致垂直的Z轴旋转，该检查方法包括：实施粗校准的工序，在粗校准中，确认相对于上述X方向或上述Y方向的、上述样品的旋转方向上的位置偏移量是否为第1容许值以下；以及实施精校准的工序，在精校准中，进行校正以使上述位置偏移量达到比上述第1容许值小的第2容许值以下，上述实施粗校准的工序包括如下处理：取得作为上述粗校准中使用的图案而预先设定的上述样品的检查区域上的第1图案的光学图像，从上述第1图案的光学图像被取得时的上述台架的位置起，使上述台架在上述X方向或上述Y方向上以预先决定的移动量移动，在使上述台架以上述移动量移动了时，取得了上述检查区域上的第2图案的光学图像的情况下，认定为上述位置偏移量为上述第1容许值以下，该第2图案的光学图像作为上述粗校准中使用的图案而预先设定、并且相对于上述第1图案在上述X方向或上述Y方向上分离而配置，另一方面，在未取得上述第2图案的光学图像的情况下，认定为上述位置偏移量比上述第1容许值大，在上述实施精校准的工序中包括如下处理：在通过上述粗校准确认了上述位置偏移量为上述第1容许值以下的情况下，取得上述精校准中使用的多个第3图案的光学图像，该多个第3图案的光学图像在上述样品的光学图像的上述检查区域上位于以沿着上述X方向或上述Y方向的四边构成的矩形框的不同的多个角部上，基于所取得的上述多个第3图案的光学图像，检测上述位置偏移量，使上述台架旋转，直到所检测到的上述位置偏移量达到上述第2容许值以下为止。