[发明专利]小型压电谐振器

摘要

本发明涉及一种压电谐振器，其包括基座和从基座延伸的至少两个振动臂，至少两个沟槽彼此相对地形成在臂的一部分长度上以及臂的上表面和下表面上。上表面上的沟槽的深度小于每个臂的总厚度的30％并且下表面上的沟槽的深度超过每个臂的总厚度的50％，或反之。

主权项

1.一种压电谐振器(1)，包括基座(2)和沿晶轴X的方向连接到所述基座(2)的至少两个振动臂(3，3’)，其中所述振动臂(3，3’)从所述基座沿晶轴+Y或‑Y的方向延伸，其中在所述臂(3，3’)的一部分长度上沿着所述晶轴+Y或‑Y在位于每个臂(3，3’)的+Z侧的上表面上形成有至少一个第一沟槽(4a，4a’)，并且其中在所述臂(3，3’)的一部分长度上且与所述第一沟槽(4a，4a’)相对地以不对称布置沿着所述晶轴+Y或‑Y在位于每个臂(3，3’)的‑Z侧的下表面上形成有至少一个第二沟槽(4b，4b’)，其特征在于，所述第一沟槽(4a，4a’)的深度小于每个臂(3，3’)的总厚度的30％或超过每个臂(3，3’)的总厚度的50％，并且所述第二沟槽(4b，4b’)的深度在所述第一沟槽(4a，4a’)的深度小于每个臂(3，3’)的总厚度的30％的情况下超过每个臂(3，3’)的总厚度的50％，或在所述第一沟槽(4a，4a’)的深度超过每个臂(3，3’)的总厚度的50％的情况下小于每个臂(3，3’)的总厚度的30％。