[发明专利]多点近距离感应器的封装方法有效
申请号: | 201811138711.X | 申请日: | 2018-09-28 |
公开(公告)号: | CN109461662B | 公开(公告)日: | 2020-06-02 |
发明(设计)人: | 饶淦;覃艳 | 申请(专利权)人: | 深圳赛意法微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L25/065;G01S17/08 |
代理公司: | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人: | 秦维;汪卫军 |
地址: | 518038 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种多点近距离感应器的封装方法,包括以下步骤:PCB基板制备步骤:感应器芯片制备步骤:组装步骤:将感应器芯片通过芯片贴装工艺安置在PCB基板的感应器芯片光学设计位置处,并将预先准备的VCSEL芯片通过芯片贴装工艺安置在PCB基板的VCSEL芯片金属平台上;固化步骤:将贴有VCSEL芯片和感应器芯片的PCB基板放入烤箱中烘烤芯片和PCB基板结合牢固;引线键合步骤:在VCSEL芯片和感应器芯片与PCB基板之间,使用金线和超声焊接技术将VCSEL芯片与PCB基板、感应器芯片与PCB基板连接起来,形成多点近距离感应器模组。本发明提供的方法可以实现多点近距离感应器的封装,为电子设备提供了多点近距离感应器。 | ||
搜索关键词: | 多点 近距离 感应器 封装 方法 | ||
【主权项】:
1.一种多点近距离感应器模组封装方法,包括以下步骤:PCB基板制备步骤:将设置有多个PCB基板单元的PCB电路板切割制成PCB基板,所述PCB基板设置有感应器芯片光学设计位置和VCSEL芯片金属平台;感应器芯片制备步骤:将设置有多个感应器芯片的晶圆切割制成感应器芯片;所述感应器芯片包括微型镜头组和微处理器,所述微型镜头组设置在所述微处理器表面;组装步骤:将所述感应器芯片通过芯片贴装工艺安置在所述PCB基板的感应器芯片光学设计位置处,并将预先准备的VCSEL芯片通过芯片贴装工艺安置在所述PCB基板的VCSEL芯片金属平台上;固化步骤:将贴有VCSEL芯片和感应器芯片的PCB基板放入烤箱中烘烤至所述VCSEL芯片和感应器芯片与所述PCB基板结合牢固;引线键合步骤:在VCSEL芯片和感应器芯片与PCB基板之间,使用金线和超声焊接技术将VCSEL芯片与PCB基板、感应器芯片与PCB基板连接起来,使得PCB基板与VCSEL芯片、PCB基板与感应器芯片之间电路导通,形成多点近距离感应器模组。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造