[发明专利]六方晶单晶锭和晶片的加工方法在审
| 申请号： | 201811140126.3 | 申请日： | 2018-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN109594125A | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 饭塚健太吕 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | C30B29/60 | 分类号： | C30B29/60;B23K26/402;B23K26/53 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;乔婉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供六方晶单晶锭和晶片的加工方法，能够容易地确保切出后的晶片的可追溯性。在六方晶单晶锭(60)上形成有：第一面(61a)；位于与第一面相反的一侧的第二面(61b)；以及在与第一面和第二面交叉的方向上延伸的外周侧面(61c)。在锭的外周侧面上，形成有条纹图样状标记(71)作为锭的ID，该条纹图样状标记在与第一面和第二面垂直的方向上延伸，并且从第一面一直延伸到第二面。根据该锭，在切出的晶片(W)上分别形成有条纹图样状标记，能够根据条纹图样状标记来检测晶片是从哪个锭切出的。 | ||
| 搜索关键词： | 条纹图样 第二面 晶片 单晶锭 六方晶 外周侧面 切出 延伸 检测晶片 可追溯性 垂直的 锭切 加工 | ||
【主权项】：
1.一种六方晶单晶锭，其具有：第一面；位于与该第一面相反的一侧的第二面；以及连接该第一面和该第二面的外周侧面，其中，在该外周侧面上形成有条纹图样状标记作为锭的ID，该条纹图样状标记在与该第一面和该第二面垂直的方向上延伸，并且从该第一面一直延伸到该第二面。
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