[发明专利]一种AOI缺陷检测系统的性能调节方法有效
| 申请号： | 201811140237.4 | 申请日： | 2018-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN109406529B | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 陈武;张胜森;郑增强 | 申请（专利权）人： | 武汉精立电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 | 代理人： | 赵伟 |
| 地址： | 430070 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种AOI缺陷检测系统的性能调节方法，包括以下步骤：S1：根据实际缺陷制作若干个具有不同的参变量的模拟缺陷样本，所述参变量包括尺寸和对比度中的任一种或两种；所述模拟缺陷样本的缺陷尺寸或对比度呈梯度变化且须覆盖允许的最小检出规格；S2：采集模拟缺陷样本的图像并对其进行缺陷检测，检测过程中对图像处理算法进行调整以使AOI缺陷检测系统的检出限满足允许的最小检出规格；本发明通过制作大量的模拟缺陷样本，有效地规避了收集实际缺陷样本耗时长，实际缺陷难以涵盖等问题，降低了时间成本，同时能快速、准确地进行缺陷评估，提高了对AOI缺陷检测系统进行性能调节的效率和准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 aoi 缺陷 检测 系统 性能 调节 方法 | ||
【主权项】：
1.一种AOI缺陷检测系统的性能调节方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：根据实际缺陷制作若干个具有不同的参变量的模拟缺陷样本，所述参变量包括尺寸和对比度中的任一种或两种；所述模拟缺陷样本的缺陷尺寸或对比度呈梯度变化且须覆盖允许的最小检出规格；S2：采集模拟缺陷样本的图像并对其进行缺陷检测，检测过程中对图像处理算法进行调整以使AOI缺陷检测系统的检出限满足所述最小检出规格。
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