[发明专利]真空镀膜机在审

专利信息
申请号: 201811140551.2 申请日: 2018-09-28
公开(公告)号: CN109023259A 公开(公告)日: 2018-12-18
发明(设计)人: 李贵扬 申请(专利权)人: 东莞市腹灵竞技电子有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/50
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 张艳美;郝传鑫
地址: 523000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开一种真空镀膜机,真空镀膜机包括镀膜筒体、抽真空装置、供镀膜材料蒸发用的蒸发室以及供镀膜材料裂解用的裂解室,镀膜筒体开设有容置腔,抽真空装置与镀膜筒体的容置腔相连通,裂解室连通于蒸发室和镀膜筒体的容置腔之间,真空镀膜机还包括连通管、收集装置及冷却装置,连通管的首端与容置腔连通,连通管的末端与冷却装置连通,收集装置设于连通管位于镀膜筒体与冷却装置之间的部位上,收集装置还与连通管相连通。使得容置腔内不会积聚有过多的镀膜材料;同时,当镀膜材料从容置腔内被导出并且在连通管内运动的时候,在冷却装置的作用下会聚集并且沉积在收集装置处,便于操作人员后续的处理。
搜索关键词: 连通管 容置腔 镀膜 筒体 真空镀膜机 镀膜材料 冷却装置 收集装置 连通 抽真空装置 裂解室 蒸发室 导出 裂解 腔内 首端 沉积 积聚 蒸发
【主权项】:
1.一种真空镀膜机,所述真空镀膜机包括镀膜筒体、抽真空装置、供镀膜材料蒸发用的蒸发室以及供镀膜材料裂解用的裂解室,所述镀膜筒体开设有容置腔,所述抽真空装置与所述镀膜筒体的容置腔相连通,所述裂解室连通于所述蒸发室和镀膜筒体的容置腔之间,其特征在于:所述真空镀膜机还包括连通管、收集装置及冷却装置,所述连通管的首端与所述容置腔连通,所述连通管的末端与所述冷却装置连通,所述收集装置设于所述连通管位于所述镀膜筒体与所述冷却装置之间的部位上,所述收集装置还与所述连通管相连通。
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