[发明专利]一种制备五氯化铼的方法有效
申请号: | 201811141760.9 | 申请日: | 2018-09-28 |
公开(公告)号: | CN109160542B | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 闫旭波;徐方涛;李海庆;张绪虎 | 申请(专利权)人: | 航天材料及工艺研究所;中国运载火箭技术研究院 |
主分类号: | C01G47/00 | 分类号: | C01G47/00;C23C16/14 |
代理公司: | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人: | 张丽娜 |
地址: | 100076 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种制备五氯化铼的方法,该方法简单,且制备的五氯化铼的纯度高,属于制备发动机推力室的前驱体技术领域。利用上述方法制得的五氯化铼纯度高,大于99.9%。制备方法简单,可重复性高。制备的五氯化铼采用氮气保护存储,便于后续作为前躯体化学气相沉积制备高纯金属铼层。制备过程中氯气的输入量合理可控,反应利用率高,减少了反应尾气。 | ||
搜索关键词: | 一种 制备 氯化 方法 | ||
【主权项】:
1.一种制备五氯化铼的方法,其特征在于该方法的步骤包括:(1)在石英管式炉中加入铼粉,且封闭石英管式炉的一端,石英管式炉的另一端与氮气气瓶、氯气气瓶及真空泵连接,打开蝶阀1,使用真空泵对石英管式炉抽真空至真空度小于设定压力;(2)关闭蝶阀1,电阻通电给石英管式炉加热;(3)打开阀门1,给石英管式炉内通入氯气,氯气和金属铼粉发生反应生成五氯化铼;(4)关闭阀门1,停止电阻通电,使石英管式炉自然降温至设定温度以下;(5)打开蝶阀1,使用真空泵对石英管式炉抽真空至设定压力;(6)关闭蝶阀1,打开阀门2,给石英管式炉中持续通入氮气,打开石英管式炉右侧的门,取出五氯化铼,并将取出的五氯化铼放置到石英升华炉中;(7)打开蝶阀2、阀门4、阀门5、阀门6、阀门7、阀门8,使用真空泵对石英升华炉抽真空至设定压力;(8)电阻通电给石英升华炉加热,五氯化铼开始升华,并依次沉积到收集瓶2和收集瓶1中;(9)升华过程结束后,关闭蝶阀2,打开阀门3,给石英升华炉内通入氮气;(10)持续通入氮气,拆除接头3、接头2和接头1,取下收集瓶2和收集瓶1,并对收集瓶2和收集瓶1进行密封,得到密封保存的五氯化铼。
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